合成石英
石英ガラスは、結晶構造を持たず、SiO4の正四面体を単位として不規則に結合しています。
これにより生じるずれを、不純物や欠陥構造が補償しています。
製法や不純物濃度の違いにより、透光性が良い、耐熱性が良い、耐薬品性が良い、不純物が少ない、複屈折が無いなどの特性があります。
弊社の合成石英は、一般の石英ガラスに比べ金属不純物が1/10以下の超高純度の四塩化ケイ素を原料として製造された合成石英です。
純度が高く、均質性に優れ脈理や気泡がほとんどありません。 そのため紫外線の透過率が非常に良好で、半導体の他にフォトマスク材などに使用されています。
通常研磨(Ra 2nm程度)と、表面粗さを追求した精密研磨(Ra 1nm程度)があります。
【石英ガラスの種類】
・溶融石英ガラス
天然の水晶の粉末を電気炉などで溶融して製作されます。
天然の水晶を原料とするため、不純物が多く含まれますが、安価なため炉ののぞき窓などの用途で使われています。
・合成石英ガラス
化学的に合成した不純物の少ない原料を使用して製作されます。溶融石英ガラスと比較して、不純物が圧倒的に少なく半導体用基板として使われています。また光学的な均質性や紫外線域や近赤外線域の透過特性に優れていますので、レンズやプリズムなどの光学部品用材料としても使われています。天然水晶を溶融して作った溶融石英ガラスとは区別して呼ばれています。
弊社では、合成石英を主として取り扱っております。
【石英と水晶の違い】
どちらも化学式ではSiO2であり、複数の名称があるため混同されやすいです。
弊社では方位の無い非晶質なものを石英、方位を持った結晶を推奨と呼んで区別しとります。
| 商品仕様 | |
|---|---|
| サイズ | 10mm×10mm～20mm～20mm、φ2inch～φ3inch、その他 |
| 厚み | 0.5mm、1mm、その他 |
| 方位 | |
| 表面仕上 | 片面鏡面、両面鏡面 |
| 納期 | 在庫品は即納可能 在庫切れや受注生産の場合は別途お問い合わせ下さい |
| 備考 | |
※その他の仕様はお問い合わせ下さい。
| 在庫・価格(税別)一覧表 | |||
|---|---|---|---|
| 品名・規格 | 数量 | 単価 | 合計金額 |
| 合成石英基板 10×10×0.5mm 両面鏡面 （精密研磨） |
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| 合成石英基板 10×10×0.5mm 片面鏡面 |
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| 合成石英基板 10×10×0.1mm 両面鏡面 |
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| 合成石英基板 15×15×0.5mm 両面鏡面 （精密研磨） |
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| 合成石英基板 20×20×0.5mm 両面鏡面 （精密研磨） |
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| 合成石英基板 20×20×1.0mm 両面鏡面 |
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※価格は予告なく変更する場合がございます。
| 結晶物性 | |
|---|---|
| 物質名 | 合成石英 |
| 化学組成 | SiO2 |
| 最高使用温度 ℃ | 1000℃ ※成膜物質によって使用温度は下がります。 |
| 体積抵抗率 | 10^18 Ω･cm |
| 密度 | 2.2 g/cm3 |
| 純度 | 99.7%以上 |
| 硬度(ビッカース) | 950 |
| 誘電率 | 3.58 (1MHz) |
| 線膨張係数 (x10^-6/K) | 0.65 (室温～1000℃) |
| 熱伝導度(W/(m.k) ) | 室温：1.4 高温(900℃)：3 |
※結晶物性データは、結晶メーカーが公表しているものや理化学辞典などの文献から引用した数値です。
保証値ではありませんので参照程度でお願いします。
